1、VOCs浓度较高时，低温等离子体一般不宜作为独立的处理单元应用，需与其他处理单元联合使用，通常作为二级净化单元才能取得较好的处理效果；
2、废气的预处理不到位时，废气中的油雾或漆雾等颗粒物进入低温等离子体净化设备，沉积在电极或器壁上，积累到一定程度后会引起设备着火；
3、有些化合物在低温等离子体环境中发生聚合反应，在电极或器壁沉积结焦，积累到一定程度也会引起设备着火；