随着电子技术的发展，越来越需要许多几何形状复杂、精密度要求高而机械加工难以实现的超薄形工件。而金属蚀刻方法却易达到部件平整、无毛刺、图形复杂的要求，且加工周期短、成本低。
目前蚀刻行业用的最广，成本最便宜的是三氯化铁蚀刻，广泛用于不锈钢,锌合金,铝材,铜,镍等金属材料以及线路板行业蚀刻等领域。它的化学原理是利用三氯化铁水溶液作为腐蚀剂与金属反应：
2FeCl 3 ＋ F e＝ 2FeCl 2 2FeCl 3 ＋ C u＝ CuCl 2 ＋ 2FeCl 2
在氯离子和氧化剂共存的条件下就可以发生金属腐蚀。 FeCl 3 作为一种较强的氧化剂，其腐蚀作用取决于 Fe 3 + ＋ e → Fe 2+ 反应的氧化还原电位（ 0.77V ），加之溶液中含有大量的氯离子，且 PH 值低、酸性强，所以对金属有强烈的腐蚀倾向。
由腐蚀反映原理可知，三氯化铁随着反应进行， Fe 3+ 离子浓度越来越低，而 Fe 2+ 离子浓度越来越高。一般经验数据表明：在 Be 4 2 0 的三氯化铁溶液中的 Fe 2+ 离子浓度超过一定量时，腐蚀剂对金属腐蚀速度就显著下降，腐蚀质量变差， 此时就需要更新。一如果能把 Fe 2+ 氧化再生就可能解决这些问题，可以减少用药成本，目前市场上有数种再生方法。
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